华海清科申请晶圆清洗装置专利，清洗刷的移动轨迹与晶圆形变相匹配_资讯

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2024-01-11 02:51:40

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金融界2024年1月10日消息，据国家知识产权局公告，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种晶圆清洗装置“，公开号CN117373956A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆清洗装置，其包括：箱体；夹持组件，设置于箱体中，用于夹持并驱动晶圆旋转；清洗刷，连接于摆臂端部并随其移动，以清洁晶圆；调节组件，与摆臂连接并调整其位姿，使得清洗刷的移动轨迹与晶圆形变相匹配。

来源：金融界

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